초순수 TOC 제거용 리액터

​반도체공정에서 UMEX사의 ABOX® TOC 시리즈는 초순수의 미량유기물 및 미생물 오염을 줄이기위한 최적의 시스템을 제공 합니다.

​

ABOX® TOC시리즈의 자외선(UV)시스템은 초순수 생성시 미생물 불활성화, TOC감소, 염소감소에 탁월한 성능과 신뢰성을 인정받은 uv-technik사의 UV TOCtimizer®램프를 사용하여 강력한 UV광선을 효울적으로 집중하도록 설계 되었습니다.

​

 ABOX® TOC시리즈의 독창적인 리액터 구조로 보다 적은공간에서 적은수의 램프와 저전력으로 초순수처리공정에 기여할수 있습니다. 

​​

​

​